Warum die Analyse von Multilayer-Fehlern über eine einzelne Messung hinausgehen muss
Leistungsverlust in fortgeschrittenen Beschichtungen — Delamination, Haze oder Leitfähigkeitsdrift — wird nur selten durch einen einzigen Faktor verursacht. Typischerweise entsteht er aus dem Zusammenspiel von Grenzflächenzuständen, Spannungsakkumulation über Sublayer hinweg und schleichender Drift von Prozessparametern. Wer sich auf nur eine analytische Methode verlässt, schafft Blind Spots. Eine integrierte diagnostische Kaskade aus SIMS-Tiefenprofilierung, XRD-Phasenanalyse, mechanischer Prüfung und Umweltexposition zeigt die tatsächliche Fehlersequenz. Dieser Multi-Methoden-Ansatz bildet die Grundlage der SURFONIX-RCA-Methodik.