Почему анализ отказов многослойных покрытий не может опираться на один метод
Потеря характеристик в сложных покрытиях — деламинация, haze, дрейф проводимости — почти никогда не вызвана одним фактором. Обычно это результат взаимодействия межфазных состояний, накопления напряжений в подслоях и постепенного дрейфа параметров процесса. Если опираться только на один аналитический метод, неизбежно возникают слепые зоны. Интегрированная диагностическая каскадная схема — с сочетанием SIMS depth profiling, XRD phase analysis, механических испытаний и климатических воздействий — позволяет восстановить реальную последовательность отказа. Именно такой multi-method подход лежит в основе RCA-логики SURFONIX.